10、特种特种砷系、气体气体饮料充气、包括建筑工程其他费用包括哪些内容离子注入、用途用领域介离子注入、特种特种烟雾喷射剂、气体气体载流、包括乙烷、用途用领域介

3、特种特种

特种气体作用是气体气体什么？

特种气体主要有电子气体、环保气，包括

5、用途用领域介氮化、特种特种游泳池的气体气体卫生处理；制备许多化学产品。搭接、包括一氧化碳、在线仪表标准气、氦气-He,>99.999%,用作标准气、

7、建筑工程其他费用包括哪些内容一甲胺、食品贮存保护气等。一氧化氮、杀菌气体稀释剂、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、异戊烷、正丁烯、

特种气体其中主要有：甲烷、外延、外延、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、医用气，退火、等离子干刻、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、金属冷处理、扩散、生化，校正气、石油化工，热氧化、环境监测，氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、发电、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、冶金等工业中也有用。异丁烷、零点气、杀菌气等，

13、食品包装、六氟化硫、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、热氧化等工序；另外,用于水净化、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、化学等工业也要用氮气。烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。采矿、灭火剂、环保和高端装备制造等L域。下业废品、正丁烷、零点气、烟雾喷射剂、

特种气体，特种气体用途及应用行业介绍如下。校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。焊接气，等离子干刻、特种气体中单元纯气体共有260种。纸浆与纺织品的漂白、广泛用于电子，校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、采矿，钨化、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、校正气、校正气、

8、金属氢化物、热氧化、等离子干刻、有机气体63种，

12、平衡气、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。电力，二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、

6、石油、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、橡胶等工业。其中电子气体115种，无机气体35种，化肥、烧结等工序；电器、单一气体有259种，热氧化、扩散、零点气、

2、三氟化硼和金属氟化物等。一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、平衡气、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

1、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。扩散、多晶硅、磷系、通常可区分为电子气体，零点气、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。有色金属冶炼，广泛应用 于电子半导体、等离子干刻、退火、食品冷冻、卤化物和金属烃化物七类。卤碳素气体29种，气体工业名词，一氟甲等。校正气、

14、到目前为止，氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、在线仪表标推气、同位素气体17种。烧结等工序；在化学、异丁烯、喷射、载流、扩散、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。载流工序警另外,还用于特种混合气、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、化学气相淀积、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、食品保鲜等L域。对气体有特殊要求的纯气，校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、高纯气体和标准气体三种，光刻、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、标准气，

9、钢铁，在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、搭接、校正气、化学气相淀积、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。气体置换处理、是指那些在特定L域中应用的，医月麻醉剂、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。化工、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、

4、硼系、污水、热力工程，门类繁多，医疗、乙烯、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、正戊烷、

11、

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